電子廠加濕設備1595 次潔凈室內相對濕度控制的必要性 [2006-11-28]這些年里，在這些規定范圍中保持處理空氣過程，使我們必需承擔資金和營運費用。但是為什么值得花費這么多錢用在潔凈室中控制相對濕度呢？

相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
 
相對濕度是潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件。半導體潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區──或者在遠紫外線處理（DUV）區甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。 

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● 細菌生長；
● 工作人員感到室溫舒適的范圍；
● 出現靜電荷；
● 金屬腐蝕；
● 水汽冷凝；
● 光刻的退化；
● 吸水性。

細菌和其他生物污染（霉菌，病毒，真菌，螨蟲）在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至。